研磨和抛光两个经常一起同时出现的名词，但其概念却有所不同。
研磨是一种微量加工的工艺技术，其通过在工作机器上借助研具以及研磨剂的力量，微量进给，在工件表面施加压力，加以低速研磨不断改变，去除工件上细微凸起的地方，以达到在被加工工件表面进行微量精密加工的目的；在研具与工件接触时，通过建模以及仿真压力的作用，自行并仅对工件表面凸起不平处进行研磨加工，使研具与工件进行相互修正，逐步将工件表面的精度提高。超精密研磨的加工精度主要是由工件与研具间的接触性质和压力特征、以及相对运动轨迹的形态等因素决定的，与构成相对运动机床的精度可以说是无关的。

使用研磨加工的好处是，其适应性较好；
可以加工各种固体材料，如各种金属材料、半导体材料、玻璃材料等；以及加工平面、孔、外圆和硅片基片等常见固体材料形状。研磨加工相比较于其他表面处理技术来说，其所拥有的优势是无法取代的。超精密研磨比切削、磨削的加工，有着更高的加工精度和质量，较适合于平面精度加工的生产，并且具有设备简单、操作方便、加工精度高等优势。

抛光是一种利用低弹性材料的抛光轮，或是使用低速旋转的软质弹性或高弹性材料的抛光轮，加上抛光膏（浆），摩擦工件从而获得平整光亮的表面，是具有一定研磨性质的加工方法，抛光轮一般用多层棉布、羊毛毡或麻布叠制而成，两侧用金属套盘夹紧，在轮的边缘处涂上由微粉磨料和油脂等均匀混合而成的抛光膏（浆）。由于抛光使用的微细磨粒是在0.1µm～100µm范围，所以其并不能提高工件几何形状的精度和尺寸的精度。抛光是以获得光滑表面/镜面光泽为目的，也可用于制作哑光拉丝效果（消除光泽）。

总的来说，研磨和抛光本质上并没有太大的区别，只是在磨料和研具材料的选择上有所不同。人们习惯上把使用硬质研具的加工方法称为研磨，把使用软质研具的方法称为抛光。但实际上在超精密加工领域中，超精密研磨和超精密抛光没有什么区别。